СП 5181-90 Санитарные правила для производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем

ОТМЕНЕН Постановлением Главного государственного санитарного врача РФ от 10.07.2020 № 19.

Срок действия: с 26.06.1990 по 10.07.2020.

Утвержден и введен в действие Заместителем главного государственного санитарного врача СССР Скляровым, А.М. от 26.06.1990 № 5181-90.