ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений. Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

ДЕЙСТВУЕТ.

Дата введения: 01.01.2011.

Авторы: Федеральное государственное унитарное предприятие "Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений" (ФГУП ВНИИОФИ).

Утвержден и введен в действие Приказом Ростехрегулирования от 15.12.2009 № 972-ст.