ГОСТ Р 8.643-2008 Государственная система обеспечения единства измерений. Рефлектометры экстремального ультрафиолетового излучения в диапазоне длин волн 10 - 30 нм. Методика поверки

ДЕЙСТВУЕТ.

Дата введения: 01.02.2009.

Авторы: Федеральное государственное унитарное предприятие "Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений" (ФГУП ВНИИОФИ).

Утвержден и введен в действие Приказом Ростехрегулирования от 02.06.2008 № 113-ст.