ГОСТ Р 8.640-2008 Государственная система обеспечения единства измерений. Радиометры ультрафиолетового излучения для контроля технологических процессов в фотолитографии. Методика поверки

ДЕЙСТВУЕТ.

Дата введения: 01.01.2009.

Авторы: Федеральное государственное унитарное предприятие "Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений" (ФГУП ВНИИОФИ).

Утвержден и введен в действие Приказом Ростехрегулирования от 26.03.2008 № 60-ст.