Авторы: ОАО "Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума", Федеральное государственное учреждение Российский научный центр "Курчатовский институт"
ГОСТ Р 8.629-2007 Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов. Методика поверки
ДЕЙСТВУЕТ.
Дата введения: 01.02.2008.
Авторы: Открытое акционерное общество "Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума", Федеральное государственное учреждение Российский научный центр "Курчатовский институт", Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Московский физико-технический институт (государственный университет)".
Утвержден и введен в действие Приказом Ростехрегулирования от 21.05.2007 № 97-ст.
Внесены изменения: № 1 от 01.11.2010 (ИУС 2-2011).