ГОСТ Р 72477-2025 Оборудование специальное технологическое, применяемое в микроэлектронном производстве. Общие технические условия

ДЕЙСТВУЕТ.

Дата введения: 01.07.2026.

Авторы: Общество с ограниченной ответственностью "Авангард-ТехСт" (ООО "Авангард-ТехСт"), Открытое акционерное общество "Авангард" (ОАО "Авангард") и Федеральное государственное бюджетное учреждение "Российский институт стандартизации" (ФГБУ "Институт стандартизации").

Утвержден и введен в действие Приказом Росстандарта от 23.12.2025 № 1770-ст.