ГОСТ Р 71422-2024 Структуры эпитаксиальные и пленки диэлектрические. Метод измерения толщины эпитаксиальных слоев арсенида галлия на основе сферического шлифа

НЕ ВСТУПИЛ В СИЛУ.

Дата введения: 01.03.2025.

Авторы: Акционерное общество "Российский научно-исследовательский институт "Электронстандарт" (АО "РНИИ "Электронстандарт").

Утвержден и введен в действие Приказом Росстандарта от 06.06.2024 № 721-ст.