ГОСТ 8.592-2009 Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления

ДЕЙСТВУЕТ.

Дата введения: 01.11.2010.

Авторы: Открытое акционерное общество "Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума" (Россия), Федеральное государственное учреждение "Российский научный центр "Курчатовский институт" (Россия) и Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Московский физико-технический институт (государственный университет)" (Россия).

Утвержден и введен в действие Приказом Ростехрегулирования от 05.04.2010 № 56-ст.