ГОСТ 26239.8-84 Кремний полупроводниковый и исходные продукты для его получения. Метод определения дихлорсилана, трихлорсилана и тетрахлорида кремния

ДЕЙСТВУЕТ.

Дата введения: 01.01.1986.

Утвержден и введен в действие Постановлением Государственного комитета СССР по стандартам от 13.07.1984 № 2491.

Внесены изменения: № 1 от 01.01.1991 (ИУС 10-1990).

Доступ ограничен

Приглашаем Вас стать пользователем Системы (ЭТБ) "ГИС-Профи" для специалистов и руководителей предприятий топливно-энергетического комплекса.